immersionlithography原理

2017年6月6日—圖一、曝光蝕刻過程示意圖。○浸潤式蝕刻(immersionlithography).我們...利用這個原理，把晶圓泡在液體中就在相同的光源下，使晶圓看的等效波長變 ...,...immersionlithography）的演說。這項技術源自阿米西的創意，早在1980年代任職於IBM時，林本堅就已經開始研究。他原訂在會中講述浸潤原理，說明某種黏稠的機油在157奈 ...,,由林育詩著作·2008—本文從高中物理光學的原理出.發，介紹現今科技技術突破的實例-浸潤...

參考資訊如下
次10奈米世代的半導體怎麼做？

2017年6月6日 — 圖一、曝光蝕刻過程示意圖。 ○浸潤式蝕刻(immersion lithography). 我們 ... 利用這個原理，把晶圓泡在液體中就在相同的光源下，使晶圓看的等效波長變 ...

衝破晶圓製造瓶頸的一滴水

... immersion lithography）的演說。這項技術源自阿米西的創意，早在1980年代任職於IBM時，林本堅就已經開始研究。他原訂在會中講述浸潤原理，說明某種黏稠的機油在157奈 ...

360°科技－浸潤式微影

簡單的光學突破3C 科技瓶頸：浸潤式微影

由 林育詩 著作 · 2008 — 本文從高中物理光學的原理出. 發，介紹現今科技技術突破的實例-浸潤式微. 影( immersion lithography )，來突顯基礎物理. 與科技應用端的緊密連結。 1965 年，英特爾 ...

林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來

因為在浸潤式微影（Immersion Lithography）技術上的成就，台積電奈米影像技術研究發展副總經理林本堅獲頒今年度的國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎（Jun-ichi ...

奈米世代微影技術之原理及應用

幸而最近在光學微影設備之技術上有新的創新技術，稱為液體中曝光微影術（Liquid immersion lithography ... 原理與應用進行介紹，隨後對F2準分子雷射及極紫外光光源微影，做 ...

【光刻】浸没式光刻Immersion Lithography

2018年3月4日 — 浸没式光刻技术是在传统的光刻技术中，其镜头与光刻胶之间的介质是空气，而所谓浸入式技术是将空气介质换成液体。实际上，浸入式技术利用光通过液体介质后 ...

浸潤式微影壽命延長EUV恐無出頭天？

2012年12月20日 — 浸潤式微影技術被如此快速接受的原因，是因為奠基於經證實的浸潤式顯微鏡(immersion microscopy)原理。該原理可回溯至1600年代，由英國自然哲學家 ...